2016中国国际传感器与微系统(MEMS)产品技术应用展览会

基本信息

在这个信息速度堪比光速的社会，准确的大数据，才是智能的基础。传感器的出现，有利于获取海量数据，赋予“智能”新的含义，让一个漫长的“传统工业”时代变得“鲜活”，步入感知世界。
　　近年来，智能手环、谷歌眼镜等电子穿戴设备热卖，智能开关、温控器等智能家居兴起，无人机等航空航天器材备受资本青睐……传感器已渗透到各个领域。传感技术的进步不但可以提高智能时代的质量水平，更能有力地促进经济发展、社会“智慧”。近年来，随着世界范围内信息技术的快速发展，传感器与微系统(MEMS)产业是重中之重，发展传感器与微系统(MEMS)技术尤为重要。为了传感器与微系统(MEMS)技术健康良好的发展，推进传感器与微系统(MEMS)技术在相关领域的应用，主办单位邀请各相关单位特举办“2016中国国际传感器与微系统(MEMS)产品技术应用展览会”，旨在搭建国际传感器与微系统(MEMS)技术的展示交流的平台，促进上下游全方位的合作，为加快发展我国战略性传感器与微系统(MEMS)技术做贡献。

展品范围

1、MEMS器件
　　光学MEMS：反射、光量开关、扫描、微型构件、微机械光学器件射频MEMS、开关、振荡器、过滤等；
　　射频MEMS：开关，振荡器/谐振器、过滤等；
　　MEMS传感器：加速度计、轴传感器、陀螺仪、压力传感器、重力传感器、角速度传感器、位移传感器、触摸传感器、气体传感器、温度传感器、磁力计、磁传感器、电子罗盘、湿度传感器、流量传感器、振动传感器、电容传感器、电学传感器、倾角传感器、机械传感器、硅麦克风、图像传感器、MEMS惯性传感器、MEMS微镜、MEMS惯性测量单元、BAW滤波器和双工器、微射流、微流引导、微感应器等；
　　MEMS执行器：生物芯片、材料芯片、灯、泵、微流控芯片；
　　MEMS电能：燃料电池，微发电机等；
　　生物/化学MEMS：DNA/RNA技术，化学检测等、MEMS晶振；
　
　　高复合型MEMS：CMOS/MEMS,LSI/MEMS一体化、MEMSIP等；
　
　　MEMS应用：MEMS传感器解决方案、麦克风,显示等、超微型机械人装置、微型工厂等、传感器网络、能量收集等；
　　2、生物MEMS与医疗应用：MEMS技术在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA&RNA技术、微反应器、微流引导、微流控芯片等；
　　3、MEMS加工设备
　　光刻设备：半导体激光直写光刻、投影扫描光刻机等、无掩膜光刻设备、曝光系统、双面测试系统；
　　镀膜设备：磁控溅射镀膜设备、离子束溅射镀膜设备、电子束蒸发镀膜设备、多弧离子镀膜设备、真空镀膜设备、涂层设备、薄膜成形、汽相淀积、溅射、光罩绘图机；
　　沉积设备：GaN外延沉积用MOCVD设备；原子层沉积设备；等离子沉积设备；液态源沉积设备等；
　　刻蚀设备：反离子刻蚀设备、ICP刻蚀设备、MEMS干法/湿法工艺系统、深反应离子刻蚀设备等；
　　清洗设备设备：等离子清洗设备、UV-O3清洗设备、光掩膜清洗设备等；
　　晶圆片键合：晶圆切割、芯片/导线焊接、涂胶、匀胶、去胶设备、烘烤、显影、对准工艺设备、扩散炉、微成形(注射,热压)、离子注入机等其他生产设备等；
　　分析与检测仪器：光罩缺陷检测、半导体检测设备、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、粗糙度检测仪、圆度仪、质谱仪、硅片探针台、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微设备：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统等；
　　4、MEMS代工/封测：MEMS中式平台；仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀；封装：MEMS封装、装配、测试和校准；

主办信息

主办单位：中华人民共和国商务部、中华人民共和国科学技术部、中华人民共和国国家知识产权局、上海市人民政府
　　支持单位：UNIDO联合国工业发展组织、UNDP联合国开发计划署、WIPO世界知识产权组织
　　承办单位：上海市国际技术进出口促进中心、中国机电产品进出口商会、东浩兰生集团上海外经贸商务展览有限公司、企荣（上海）展览服务有限公司

联系信息

地址：上海市青浦区华徐路888号1号楼7018室
　电话：021-60421324
　联系人：柴明奎18611082002
　　传真：021-31575512
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